半导体行业的核心生产环节(如晶圆清洗、光刻、离子注入)对超纯水品质有着极致严苛的要求,需满足电阻率≥18.2MΩ·cm、颗粒物≤10个/ml(≥0.1μm)、总有机碳(TOC)≤2ppb的SEMI标准,任何微量杂质都可能导致芯片缺陷、良率骤降。杜邦(罗门哈斯)HPR1200 NA作为一款均粒凝胶型强酸阳离子交换树脂,在工业软化领域表现突出,但它能否适配半导体行业的超纯水制备需求?

答案明确:杜邦HPR1200 NA树脂不适用于半导体行业核心超纯水制备环节,其设计定位与半导体行业的水质要求存在本质差距,仅可在特定辅助用水场景中谨慎应用。
HPR1200 NA树脂的核心定位是工业软化与钠型优先的除盐应用,其性能参数均围绕工业场景需求优化设计,与半导体超纯水制备的核心诉求无适配性可言。
在工业场景中,其出水硬度可控制在≤0.03 mmol/L,悬浮物≤0.5 ppm,完全满足工业用水的软化需求,是工业领域软化处理的优选树脂之一。但需明确的是,该树脂的设计初衷从未涉及半导体超纯水的深度除杂需求,其性能参数与半导体行业的严苛标准存在天然断层。
选型建议:半导体行业的树脂选型核心原则
结合杜邦HPR1200 NA树脂的特性与半导体行业需求,树脂选型需遵循“场景匹配、等级适配”的核心原则,避免因选型偏差导致生产风险:
1.明确场景定位,核心环节优先选用半导体级专用树脂。晶圆清洗、光刻、芯片封装等核心环节的超纯水制备,需选用标注“半导体级(UP级)”的离子交换树脂,确保其满足低杂质溶出、深度除杂、高稳定性的要求,优先选择杜邦、罗门哈斯等品牌的专用系列,避免使用工业级软化树脂。
2.辅助场景合理选型,严控水质与隔离防护。循环冷却水、锅炉补给水等辅助用水,可选用HPR1200 NA这类工业级软化树脂,以降低运行成本,但需配套完善的预处理与监测系统,确保出水水质符合辅助用水标准,并与核心超纯水系统建立严格的隔离措施,杜绝交叉污染。
3.结合工艺需求,优化树脂组合方案。半导体超纯水制备通常采用“预处理+双级反渗透+EDI+抛光混床”的组合工艺,预处理软化环节可选用工业级阳离子交换树脂(如HPR1200 NA),精处理环节则必须搭配半导体级混床树脂,通过分级处理实现“成本控制+水质达标”的双重目标。
所以,杜邦HPR1200 NA树脂作为工业软化领域的优质树脂,具备强效软化、稳定运行、经济性突出等优势,但受限于设计定位与性能边界,其不适用于半导体行业核心超纯水制备环节,仅可在辅助用水软化场景中谨慎应用。
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