在水处理耗材中,有超纯水树脂工业耗材可以为电子芯片半导体等行业提供超纯水水质,超纯水是贯穿晶圆清洗、光刻、湿法蚀刻、化学机械抛光、封装测试全流程的核心工艺介质。芯片制程精度越高,对水质的严苛程度呈几何级提升,水中微量离子、痕量有机物、细微颗粒、金属杂质,都会直接导致芯片电路短路、晶圆缺陷、良率暴跌。普通水处理树脂仅能满足工业纯水标准,无法适配半导体高端制程需求。
杜邦(罗门哈斯)UP6150作为专用电子级抛光混床树脂,是芯片超纯水终端精制的核心耗材,可稳定产出符合半导体SEMI标准的18.2MΩ·cm超高纯纯水,完全满足电子芯片全制程用水需求。

为什么电子芯片制造需要超纯水水质?
芯片生产属于纳米级精密制造工艺,尤其当下3nm、5nm、7nm先进制程,对超纯水水质要求达到极致严苛水准。行业硬性标准要求超纯水电阻率稳定18.25MΩ·cm、TOC控制在1ppb以内、痕量金属离子≤0.1ppt,几乎实现水质“零杂质”。
常规RO+EDI水处理工艺,可去除水体绝大部分盐分与杂质,但无法彻底清除微量硅、硼、痕量金属离子及低分子有机物,水质精度达不到芯片生产要求。而杜邦UP6150是杜邦专为半导体、高端电子行业研发的预再生一次性电子级抛光树脂,专门用于超纯水系统终端精处理,可深度捕捉前端工艺残留的微量杂质,是芯片超纯水达标的最后一道、也是最关键一道屏障。
区别于普通工业抛光树脂,UP6150出厂已完成100%氢型/氢氧型彻底再生,无需现场酸碱再生,无杂质残留、无二次污染,从源头杜绝树脂溶出物污染超纯水,完美适配芯片制造的洁净刚需。
杜邦UP6150树脂主要用于芯片制造行业哪些场景?
杜邦UP6150产出的超纯水,贯穿芯片制造全核心工序,是先进制程量产的基础保障:
1. 晶圆清洗工序:去除晶圆表面微颗粒、有机物与金属残留,保障纳米级电路蚀刻精度;
2. 光刻与湿法蚀刻:为药液配比、基板冲洗提供高纯水源,避免杂质干扰光刻图案成型;
3. 化学机械抛光(CMP):保证抛光表面平整度,杜绝细微划痕与瑕疵;
4. 芯片切割、封装与测试:清洗芯片表面粉尘、残留药剂,保障芯片封装密封性与电气性能稳定;
5. 半导体元器件、分立器件、IC芯片量产纯水制备:覆盖从低端分立芯片到高端AI算力芯片的全品类生产用水需求。
超纯水纯度决定芯片制造上限,杜邦UP6150是电子芯片超纯水制备的核心标配抛光树脂。凭借极致的离子去除能力、超低TOC溶出、稳定的运行工况、便捷的运维方式,可稳定产出半导体级18.25MΩ·cm超纯水,全方位满足各类芯片生产的严苛用水需求,从水源端保障芯片精度、良品率与量产稳定性。
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