LCD 与 OLED 面板生产中,基板清洗、光刻冲洗、ITO 制程用水对水质有着严苛标准,电阻率、TOC、硅硼、金属离子、颗粒杂质任意一项超标,都会引发亮点黑点、膜层针孔、线路断路,直接拉低面板良率。不少工程选型会问到罗门哈斯 MB20 混床树脂,是否可以用于面板清洗超纯水制备。

杜邦罗门哈斯MB20 可以用于系统中段脱盐,但严禁直接作为 LCD/OLED 产线的终端抛光单元,不能单独产出面板工艺级超纯水。
在面板超纯水完整工艺链路中,杜邦MB20 的正确定位是中段脱盐单元,而非终端精处理。可以布置在二级反渗透之后、EDI 之前,承担大部分残余盐分的去除,降低 EDI 的离子负荷,减轻后端设备压力;但绝对不能放在系统最末端,直接供给清洗机使用。
实际应用需要规避几大误区:
不要混淆工业混床与电子级抛光树脂。杜邦MB20 允许现场再生,再生过程会不可避免引入再生剂杂质,造成离子泄漏;而面板终端抛光需要选用不可分离的电子级专用抛光树脂,出厂完成极限再生,一次性使用,杜绝再生带来的杂质污染风险。即便 MB20 瞬时测出较高电阻率,也无法稳定把硅、硼、重金属控制在 ppb 级别,水质波动风险高。
杜邦罗门哈斯MB20 产水必须经过 EDI 深度处理,再对接终端电子级抛光树脂,整套流程为预处理-双级 RO-MB20 混床-EDI-终端抛光树脂-终端保安过滤,才能输出满足 LCD/OLED 清洗要求的 18.2MΩ・cm 超纯水。跳过 EDI 与终端抛光,直接把杜邦MB20 出水供给面板清洗,会存在很大品质隐患。

严格做好前置预处理。进水悬浮物、胶体硅、铁锰要提前去除,防止树脂被污染中毒;运行过程严控流速,做好树脂罐下游过滤拦截,减少树脂破碎细粉向下游输送。杜邦罗门哈斯MB20 再生时,需要严格把控再生药剂纯度、再生流量与冲洗流程,避免再生残留杂质带入后续系统。
选型对比来看,如果是普通 LCD 辅助清洗用水,水质指标要求宽松,杜邦MB20 作为中段脱盐具备性价比优势;如果是 OLED、高端 LTPS 面板核心制程清洗用水,对 TOC、痕量金属、颗粒指标要求极高,后端必须配置电子级专用抛光树脂,杜邦MB20 仅可承担前级脱盐任务,不可替代终端抛光树脂。
本文由罗门哈斯网(http://www.rohmhaas-ch.com/)原创首发,转载请以链接形式标明本文地址或注明文章出处!


